特許
J-GLOBAL ID：200903001462365545
検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-261978
公開番号（公開出願番号）：特開平8-101137
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：
【要約】【目的】本発明は、各種の検査内容に応じた最適な条件を満たす光学系を容易に提供することのできる検査装置の実現を目的とするものである。【構成】検査対象物の表面を所定の撮像手段により撮像することにより得られた画像データと、予め入力された画像データとを順次比較することにより検査対象物を検査する検査装置において、撮像手段を、撮像手段内部の入射光受光面を含む平面上の任意の一点を中心として所定方向に回転自在に保持する保持手段を設けたことにより、撮像手段の撮像光軸の調整作業を容易に行い得るようにでき、かくして各種の検査内容に応じた最適な条件を満たす光学系を容易に提供することのできる検査装置を実現できる。
請求項（抜粋）：
検査対象物の表面を所定の撮像手段により撮像することにより得られた画像データと、予め入力された画像データとを順次比較することにより上記検査対象物を検査する検査装置において、上記撮像手段を、上記撮像手段内部の入射光受光面を含む平面上の所定の一点を中心として任意の方向に回転自在に保持する保持手段を具えることを特徴とする検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G06T 1/00
, H05K 13/08
