特許
J-GLOBAL ID：200903001468098484
洗浄装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-057672
公開番号（公開出願番号）：特開平5-259139
出願日： 1992年03月16日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】【目的】オゾンガスに一定量の水分を含んだ混合ガスを安定して被処理物の表面に供給して洗浄性能を改善する。【構成】ランプハウス内に水蒸気添加装置を配置する。【効果】配管加熱装置を設けること無く安価にオゾンガスに混合した水蒸気が被処理物に供給する前に結露することなく一定量の水分を含んだ混合ガスを安定して被処理物の表面に供給でき洗浄性能が改善される。
請求項（抜粋）：
オゾンと紫外線の作用によって有機物を分解し、気化して除去する洗浄装置であって、オゾンを含む反応ガスにガス状の水を混合して被処理物の表面に供給するための水蒸気混合装置を紫外線光源を収納する容器内に備えたことを特徴とする洗浄装置。
IPC (4件)：
H01L 21/304 341
, B08B 7/00
, G03F 1/08
, H01L 21/027
