基板搬送方法およびその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：花輪義男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-271465
公開番号（公開出願番号）：特開2003-086651
出願日： 2001年09月07日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】レジストが塗布されたガラス基板をプリベークユニットに搬送するための基板搬送アームの不要な温度上昇に起因するレジストパターニング不良を防止する。【解決手段】スピンコータからなるレジスト塗布ユニット21でガラス基板35上にレジストを塗布し、レジスト塗布後のガラス基板35を平面ほぼコ字状の基板搬送アーム23の両アーム部31上に吸着させてプリベークユニット22に搬送する。このとき、基板搬送アーム23の両アーム部31はプリベークユニット22内に進入し、加熱される。そこで、待機位置に戻った基板搬送アーム23に冷却ユニット24から冷風を吹き付け、基板搬送アーム23の温度を室温まで下げる。

請求項（抜粋）：

前工程を経た基板を基板搬送アームで加熱を含む後工程に搬送する基板搬送方法において、前記基板搬送アームを冷却することを特徴とする基板搬送方法。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B65G 49/06 , B65G 49/07 , G02F 1/13 101 , H01L 21/027

FI (7件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/06 Z , B65G 49/07 C , G02F 1/13 101 , H01L 21/30 502 H , H01L 21/30 502 J , H01L 21/30 566

Fターム (16件)：

2H088EA68 , 2H088FA17 , 2H088HA01 , 2H088HA08 , 2H088MA20 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031GA37 , 5F031MA26 , 5F046CD01 , 5F046CD05 , 5F046DA26 , 5F046JA04 , 5F046JA22 , 5F046KA04 , 5F046KA07

引用特許：

審査官引用 (11件)

基板処理方法および基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-286288 出願人：株式会社日立製作所
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-248215 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-249918 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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