特許

J-GLOBAL ID：200903001480524197

結像用の電子エネルギーフィルタ

発明者： ハラルト ローゼ ,  シュテファン ウーレマン ,  オイゲン ヴァイマー
出願人/特許権者： カール-ツアイス-スチフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-057386
公開番号（公開出願番号）：特開平7-037536
出願日： 1994年03月28日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】電子けんび鏡のための、著しく高い電子エネルギーの場合も、同じ小さい最小のエネルギー幅の下で、一層コンパクトな構成を許容する磁気式電子エネルギーフィルタを提供する。【構成】フィルタは3つのセクタ磁石1,2,3から構成され、第1のセクタ磁石1の偏向磁界は一様であり、他のセクタ磁石2,3には非一様な傾斜磁界が存在する。傾斜磁界を発生するために、セクタ磁石2,3の磁極片は截頭二重錐体の形状を有する。第1のセクタ磁石の中を電子ビームは2回通過する。セクタ磁石の前方、後方およびそれらの間に多極素子10,11,6a,6b,7a,7b,8a,8b,9を配置する。このフィルタは著しく高いエネルギーの電子に対しても、同時にコンパクトな構造の下で、大きい分散作用を有する。多極素子を用いて、2次の全部のエラーと2階の大部分の色誤差を補正する。

請求項（抜粋）：

ビーム偏向用の複数個のセクタ磁石(1,2,3)から構成されており、この場合、少なくとも1つの第1のセクタ磁石(1)が一様な偏向磁界を有し、さらに少なくとも1つの第2のセクタ磁石(2,3)が非一様の偏向磁界を有することを特徴とする、結像用の電子エネルギーフィルタ。

IPC (3件)：

H01J 37/05 ,  H01J 37/26 ,  H01J 49/44

引用特許：

出願人引用 (3件)

• オメガフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-316917   出願人：日本電子株式会社
• 特開昭61-277141
  
• 特開昭62-066553
  

審査官引用 (3件)

• オメガフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-316917   出願人：日本電子株式会社
• 特開昭61-277141
  
• 特開昭62-066553