特許
J-GLOBAL ID：200903001481935565
液体秤量装置及びそれを備えた洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-087268
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280618
出願日： 1994年04月04日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 液体秤量に当たり液体の排出を必要としない液体秤量装置を提供する。【構成】 液体秤量装置10は、縦型円筒形容器からなる秤量タンク12、開閉弁22を備えた供給管14、オーバーフロー管16、開閉弁18を備えた送出管20、下限液面センサ28及び定量液面センサ30を有している。更に、秤量タンクの側壁の外側近傍に設けられた受け槽40と、受け槽と秤量タンクとを連通する、開閉弁42を備えた連通管44とが設けてある。受け槽は、オーバーフロー管の上端開口と秤量タンクの底板50との間に配置されている。連通管は受け槽の底板から秤量タンクの側壁に接続され、連通管の途中に設けられた開閉弁は、タイマー52の動作により閉止される。液体の秤量に当たりオーバーフロー管を経由オーバーフローした液体を受け槽に一時的に受容し、定量した液体を秤量タンクから払い出した後、受容した液体を秤量タンクに移送する。これにより、液体秤量に当たり液体を無駄に排出することが無くなる。
請求項（抜粋）：
オーバーフロー管を備えた容積式秤量タンクにて定量した液体を所望場所に供給するようにした液体秤量装置において、オーバーフロー管の上端開口と秤量タンクの底部との間に配置されて、オーバーフロー管から流出する液体を受容するようにされた受け槽と、受け槽と秤量タンクとを連通する、開閉弁付き連通管とを備え、オーバーフロー管が秤量タンクの側壁を貫通して受け槽に接続されていることを特徴とする液体秤量装置。
IPC (3件)：
G01F 11/28
, B08B 3/00
, H01L 21/304 341
