特許
J-GLOBAL ID：200903001483489015
粒子凝集検出除去装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-182561
公開番号（公開出願番号）：特開平7-035696
出願日： 1993年07月23日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】平面上に散布された粒子が凝集していると、周囲に影響を与えることなく、その凝集粒子のみを除去して不良品を救済する。【構成】スペーサ粒子2を散布したガラス基板1をカメラ4で撮像した画像情報を画像処理部5に入力し、2値化処理部6,ラベリング処理部7,面積判定部8,重心位置検出部9によって粒子凝集部分2aの位置と個数を検出する。その情報を受けた制御コンピュータ13は、粒子凝集部分2aが吸引ノズル11の真下に来るようにXYステージ3を制御し、吸引ノズル11から粒子凝集部分2aの凝集粒子を局所的に吸引除去する。このような位置合わせ,吸引除去は検出されたすべての粒子凝集部分2aに対して実行される。
請求項（抜粋）：
平面上に粒子が散布された基板を固定してXY方向に変位自在な手段と、前記粒子散布の基板を撮像する手段と、撮像によって得られた画像情報に基づいた画像処理により粒子凝集部分の位置と個数を割り出す手段と、その位置情報に基づいて粒子凝集部分を吸引位置に移動させるよう前記基板の変位手段を駆動制御する手段と、前記吸引位置に配置され基板平面上から粒子凝集部分の凝集粒子を吸引除去する手段と、他の粒子凝集部分に対しても同様の処理を前記個数情報が示す回数だけ繰り返す手段とを備えたことを特徴とする粒子凝集検出除去装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01N 15/02
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1339 500
