特許
J-GLOBAL ID：200903001497519383
イオン注入装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-200511
公開番号（公開出願番号）：特開平7-057681
出願日： 1993年08月12日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【構成】 ハイブリッドスキャン型イオン注入装置は、イオンビームの照射を受ける位置にあるプラテン3の側部に向かって光を発する発光器12と、ウエハを保持するプラテン3の円弧状の軌道を挟んで上記発光器12と対向配置された受光器13とを備えている。プラテン3の側部には、上記発光器12の発する光が通過可能な複数の光通過孔3a...が、互いに平行に、且つ、上記発光器12の発する光の照射領域の幅Wよりも短い間隔Lで形成されている。【効果】 プラテン駆動系とは独立した別系統で、プラテン3の動作を、注入動作中、常に監視でき、プラテン3のビーム走査方向(X方向)に対する向きが変化した場合、これを迅速且つ確実に検出でき、プラテン3の動作異常による注入不均一を事前に防止することができる。
請求項（抜粋）：
イオンビームを所定方向に走査するビーム走査手段と、ビーム照射対象物を保持する保持部材と、上記保持部材と接続されたスイングアームと、上記保持部材が上記スイングアームの端部を中心とする円弧状の軌道上を移動し、該保持部材に保持されたビーム照射対象物の全面に上記ビーム走査手段によって走査されたイオンビームが照射されるように、スイングアームを回転駆動するスイングアーム駆動手段と、上記保持部材に保持されたビーム照射対象物が、常に、イオンビームの走査方向に対して略同じ方向を維持するように、上記スイングアームの回転方向とは逆方向に、スイングアームと略同じ角速度で保持部材を回転駆動する保持部材回転駆動手段とを備えているイオン注入装置にいて、イオンビームの照射を受ける位置にある保持部材の側部に向かって光を発する発光手段と、保持部材の円弧状の軌道を挟んで上記発光手段と対向配置され、上記発光手段の発する光を検出する受光手段と、上記受光手段の検出結果に基づいて、保持部材の動作の異常の有無を検出する異常検出手段とを備え、上記保持部材の側部には、上記発光手段の発する光が通過可能な複数の光通過孔が、互いに平行に、且つ、上記発光手段の発する光の照射領域の幅よりも短い間隔で形成されていることを特徴とするイオン注入装置。
IPC (3件)：
H01J 37/317
, C23C 14/48
, H01L 21/265
