特許

J-GLOBAL ID：200903001500816220

搬送装置

発明者： 渡邉 和廣 ,  竹林 勲
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (7件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行 ,  荒川 伸夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-305761
公開番号（公開出願番号）：特開2009-126677
出願日： 2007年11月27日
公開日（公表日）： 2009年06月11日
要約：

【課題】清浄度を高く維持されている空間と清浄度の低い外部空間との間で対象物を受け渡す場合に、対象物の周囲に十分な清浄度を確保することができる搬送装置を提供する。【解決手段】搬送装置101は、気体が循環することによって外部空間より清浄度を高めた清浄空間を画定するための清浄空間維持部10と、前記清浄空間と前記外部空間との間で対象物11を受け渡すための受渡し窓17を有する外壁3と、受渡し窓17の外側において対象物11を受け渡す相手となるべき搬送車4を収容するための搬送車収容領域5と、搬送車収容領域5の上方において、下方に向けて前記外部空間より清浄度の高い気流を吹き出すための受渡用吹き降ろし部6とを備える。外壁3は、受渡し窓17より下側において搬送車収容領域5から吸気するための外壁吸気口7を有する。【選択図】図1

請求項１：

気体が循環することによって外部空間より清浄度を高めた清浄空間を画定するための清浄空間維持部と、 前記清浄空間と前記外部空間との間で対象物を受け渡すための受渡し窓を有する外壁と、 前記受渡し窓の外側において前記対象物を受け渡す相手となるべき搬送車を収容するための搬送車収容領域と、 前記搬送車収容領域の上方において、下方に向けて前記外部空間より清浄度の高い気流を吹き出すための受渡用吹き降ろし部とを備え、 前記外壁は、前記受渡し窓より下側において前記搬送車収容領域から吸気するための外壁吸気口を有する、搬送装置。

IPC (2件)：

B65G 1/00 ,  H01L 21/677

FI (3件)：

B65G1/00 501C ,  B65G1/00 521D ,  H01L21/68 A

Fターム (11件)：

3F022AA08 ,  3F022BB09 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022FF01 ,  3F022LL07 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA03 ,  5F031GA58 ,  5F031NA02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-076699   出願人：富士通株式会社