特許
J-GLOBAL ID：200903001507568736
光導波路センサ及び測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-271859
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089759
出願日： 1995年09月26日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【課題】 可動部なしで屈折率の高感度測定が行える光導波路センサを提供する。【解決手段】 基板11と、基板11の表面に形成した高屈折率の薄膜材料で形成した光導波路12と、光導波路12表面上に形成した導波光損失の手段13とを備えた。又、基板11と、基板11の表面に形成した第1の導波路12と、導波路上に形成した高屈折率の薄膜材料で形成した第2の導波路12Aとを備えた。更に又、前記第2の導波路12A上に更に他の薄膜コート層15を備えた。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板の表面に形成した高屈折率の薄膜材料で形成した光導波路と、該光導波路表面上に形成した導波光損失の手段とを備えたことを特徴とする光導波路センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/17 B
, G01N 21/41 Z
