特許
J-GLOBAL ID:200903001509431843
物理情報取得方法および物理情報取得装置、複数の単位構成要素が配列されてなる物理量分布検知の半導体装置、並びに半導体装置の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
船橋 國則
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-250049
公開番号(公開出願番号):特開2006-064634
出願日: 2004年08月30日
公開日(公表日): 2006年03月09日
要約:
【課題】撮像装置において、高解像度でありかつ十分な色再現性を得ることができるようにする。【解決手段】分光イメージセンサ10の受光面側に、散乱体3とスリット5と散乱体7の順に各散乱体を配した回折格子1を設ける。散乱体で電磁波が散乱されることで発生する回折波同士での干渉縞のパターンが、波長によって変化することを利用して、フォトダイオード群12内の各光電変換素子12B,12G,12Rで波長別に信号を検知する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
電磁波を検知して対応する単位信号を出力する単位信号生成部を単位構成要素内に含み、当該単位構成要素が所定の順に配された物理量分布検知のための半導体装置を使用して、前記単位信号に基づいて所定目的用の物理情報を取得する物理情報取得方法であって、
前記半導体装置の前記電磁波が入射する入射面側に平行に、前記電磁波を遮断する遮断部間に設けられた開口部を前記電磁波が通ることによる回折効果を利用して前記電磁波を複数の波長成分に分け、それぞれの波長成分を前記入射面内における近接したそれぞれ異なる位置に入射させる波長分散部を設け、当該波長分散部により分けられた波長成分ごとの前記単位信号を取得し、
前記波長成分ごとの前記単位信号に基づいて、前記所定目的用の物理情報を取得する
ことを特徴とする物理情報取得方法。
IPC (9件):
G01J 3/18
, G01J 1/02
, G01J 1/06
, G01J 3/36
, G01J 3/51
, H04N 5/335
, H04N 9/07
, H01L 31/023
, H01L 27/146
FI (10件):
G01J3/18
, G01J1/02 B
, G01J1/02 Q
, G01J1/06 A
, G01J3/36
, G01J3/51
, H04N5/335 V
, H04N9/07 A
, H01L31/02 D
, H01L27/14 A
Fターム (74件):
2G020AA08
, 2G020CB42
, 2G020CB43
, 2G020CC04
, 2G020CC27
, 2G020CC63
, 2G020CD24
, 2G020DA13
, 2G020DA31
, 2G065AA04
, 2G065AB02
, 2G065AB04
, 2G065AB05
, 2G065BA02
, 2G065BA04
, 2G065BA33
, 2G065BB15
, 2G065BB20
, 2G065BB26
, 2G065BB28
, 2G065BB46
, 4M118AA01
, 4M118AB01
, 4M118AB04
, 4M118BA12
, 4M118BA13
, 4M118BA14
, 4M118CA03
, 4M118CA22
, 4M118CA27
, 4M118CA34
, 4M118DB05
, 4M118DB06
, 4M118DB07
, 4M118DB08
, 4M118DB16
, 4M118DD04
, 4M118DD10
, 4M118DD12
, 4M118FA06
, 4M118FA26
, 4M118FA33
, 4M118FA34
, 4M118FA42
, 4M118GA06
, 4M118GA10
, 4M118GC07
, 4M118GC08
, 4M118GC09
, 4M118GC15
, 4M118GC17
, 5C024AX01
, 5C024AX06
, 5C024CX41
, 5C024DX01
, 5C024EX52
, 5C024GX03
, 5C024GY01
, 5C024GY31
, 5C065BB42
, 5C065CC01
, 5C065DD02
, 5C065DD15
, 5C065DD17
, 5C065EE10
, 5F088AA02
, 5F088AB02
, 5F088BA01
, 5F088BA07
, 5F088BA20
, 5F088BB03
, 5F088JA11
, 5F088JA20
, 5F088LA03
引用特許:
出願人引用 (3件)
-
米国特許第5965875号
-
光学素子および光集積素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-049974
出願人:三洋電機株式会社, 技術研究組合新情報処理開発機構
-
回折格子製作方法および製作装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-318338
出願人:セイコーインスツルメンツ株式会社
審査官引用 (2件)
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