特許
J-GLOBAL ID：200903001513369389
遠心乾燥機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
櫻井 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-041357
公開番号（公開出願番号）：特開平8-210773
出願日： 1995年02月06日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】〔目的〕半導体ウエハなどの帯電防止を有効に行うことができる簡易・安価な遠心乾燥機を提供する。〔構成〕電動機によって回転せしめられるターンテーブル(1) と、このターンテーブル(1) の周辺部に軸(10)及び軸受(11)を介して回動自在に保持される金属製のクレードル(2) と、このクレードル(2) と接地点との間に形成される導電路(金属製の板バネ14等) とを備えている。
請求項（抜粋）：
電動機によって回転せしめられるターンテーブルと、このターンテーブルの周辺部に軸及び電気絶縁性の軸受を介して回動自在に保持される金属製のクレードルと、このクレードルと接地点との間に形成される導電路とを備えたことを特徴とする遠心乾燥機。
IPC (2件)：
引用特許：
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