特許
J-GLOBAL ID：200903001514561429
プラズマCVD装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中川 國男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-163031
公開番号（公開出願番号）：特開平11-335855
出願日： 1998年05月27日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】分解清掃組み立て容易で、加工対象のワークに対する薄膜の形成に有効なプラズマCVD装置の提供。【解決手段】筒状のチャンバーブロック2の開口面に、電気絶縁状態として筒状のアノードブロック3、カソードブロック4を順次に着脱自在に取り付けて、密閉可能なプラズマ室5を形成し、それに成膜原料ガス6の供給ユニット7、減圧用の真空ユニット8を接続するとともに、室5の内部でブロック3の内側にリング状のアノード9を固定し、また、室5の内部でブロック4の中心位置にカソード10を固定し、その両端にカソード電源11を接続し、そのアース14側の一端とアノード9との間にアノード電源12を接続し、室5の内部でアノード9、カソード10に対向した状態で配置される加工対象のワーク13とアース14との間にイオン加速用電源15を接続した、プラズマCVD装置1。
請求項（抜粋）：
筒状のチャンバーブロック(2)の一方の開口面に、電気絶縁状態として筒状のアノードブロック(3)、カソードブロック(4)を順次に重ねて着脱自在に取り付けて、密閉可能なプラズマ室(5)を形成し、このプラズマ室(5)に成膜原料ガス(6)の供給ユニット(7)、減圧用の真空ユニット(8)を接続するとともに、プラズマ室(5)の内部で、アノードブロック(3)の内側にリング状のアノード(9)を固定し、またプラズマ室(5)の内部で、カソードブロック(4)の中心位置にカソード(10)を固定し、カソード(10)の両端にカソード電源(11)を電気的に接続し、カソード電源(11)のアース(14)側の一端とアノード(9)との間にアノード(9)側でプラス電位のアノード電源(12)を電気的に接続し、プラズマ室(5)の内部でアノード(9)、カソード(10)に対向した状態で配置される加工対象のワーク(13)とアース(14)との間にワーク(13)側でマイナス電位のイオン加速用電源(15)を電気的に接続したことを特徴とするプラズマCVD装置(1)。
IPC (4件)：
C23C 16/50
, H05H 1/24
, H05H 1/46
, H01L 21/31
C23C 16/50
, H05H 1/24
, H05H 1/46 A
, H01L 21/31 C
