特許
J-GLOBAL ID：200903001523497652

テラヘルツ分光装置

発明者：
福島 一城

福島 一城 について


出願人/特許権者：
株式会社栃木ニコン

株式会社栃木ニコン について

, 
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-291852
公開番号（公開出願番号）：特開2007-101370
出願日： 2005年10月05日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：
【課題】ディレイステージの位置決め精度に拘らず正確なスペクトルを得ることができるテラヘルツ分光装置を提供する。【解決手段】ディレイステージ8を移動させる毎にテラヘルツ検出器7からテラヘルツパルス波の電場強度に対応する検出信号を取得する。同時に、ステージ位置測定器9から出力されたディレイステージ8の位置に対応するパルスを取得し、テラヘルツ波の電場強度を取得したときのディレイステージ8の位置に対応した時間波形を得る。時間波形を等時間間隔のデータに補正した後、フーリエ変換して振幅スペクトルと位相スペクトルとを得る。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ビームスプリッタで2分割されたパルス光の一方の時間遅延を行うディレイステージと、 前記パルス光の照射によってテラヘルツ波を発生させるテラヘルツ発生器と、 試料で反射され又は試料を透過したテラヘルツ波を検出するテラヘルツ検出器と、 前記ディレイステージの位置を測定する位置測定手段と、 前記位置測定手段から出力された信号に基づいて前記テラヘルツ検出器で検出されたテラヘルツ波に対応する電場強度の時間変化を表す検出信号を補正処理する制御手段と を備えていることを特徴とするテラヘルツ分光装置。
IPC (2件)：
G01J 3/28 ,  G01N 21/35
FI (2件)：
G01J3/28 ,  G01N21/35 Z
Fターム (24件)：
2G020AA03 ,  2G020BA02 ,  2G020CA14 ,  2G020CB05 ,  2G020CB23 ,  2G020CB42 ,  2G020CC47 ,  2G020CD03 ,  2G020CD12 ,  2G020CD13 ,  2G020CD32 ,  2G020CD35 ,  2G020CD38 ,  2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ22 ,  2G059MM01 ,  2G059MM08
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • テラヘルツ分光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-362244   出願人：株式会社栃木ニコン, 株式会社ニコン
審査官引用 (2件)
引用文献：
審査官引用 (1件)

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