特許
J-GLOBAL ID：200903001527140015

流体の被除去物回収方法

発明者：
対比地 元幸

対比地 元幸 について

, 
飯沼 宏文

飯沼 宏文 について


出願人/特許権者：
三洋電機株式会社

三洋電機株式会社 について


代理人 (1件)： 芝野 正雅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-007295
公開番号（公開出願番号）：特開2001-198417
出願日： 2000年01月17日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
要約：
【要約】【課題】 従来、ダイシングにより発生する研磨屑、研削屑は、全てがタンクの中に一緒に混ぜられ、処理されていた。またCMP等の機械的加工により発生する研磨屑、研削屑も同様であった。従って環境基準が厳しい物質も混ぜられて処理されているため、廃棄量が非常に多くなっていた。またこれを回収再利用しようとしても、実質不可能であった。【解決手段】 被除去物の材料、被除去物中の不純物別に排水が区別され、これを別々の濾過装置53で高濃度にし、別々の回収装置68で被除去物を回収する。
請求項（抜粋）：
不純物が導入された被除去物を混入した流体は、実質的に前記不純物の材料により区別され、この不純物の材料により区別された流体毎に濾過された流体を取り出し、残った前記被除去物を区別された前記不純物毎に回収することを特徴とする流体の被除去物回収方法。
IPC (5件)：
B01D 37/00 ,  B01D 24/00 ,  B01D 37/02 ,  H01L 21/304 622 ,  B01D 29/00
FI (5件)：
B01D 37/00 ,  B01D 37/02 B ,  H01L 21/304 622 E ,  B01D 29/08 530 Z ,  B01D 23/00 Z
Fターム (13件)：
4D041AA02 ,  4D041AB03 ,  4D041AC09 ,  4D041CB07 ,  4D066AA01 ,  4D066AA05 ,  4D066BA05 ,  4D066BB02 ,  4D066CA01 ,  4D066CA02 ,  4D066CA11 ,  4D066CB13 ,  4D066DA01
引用特許：
審査官引用 (1件)

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