特許
J-GLOBAL ID：200903001534441764
環境制御型の走査型電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-124575
公開番号（公開出願番号）：特開平6-338280
出願日： 1993年05月27日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：
【要約】【目的】環境制御型電子顕微鏡において、試料に局在している負のチャ-ジアップを光電子放出により中性化し、良好な観察画像を得る。【構成】電子銃12から放出された、電子線の試料8上の走査領域全域に対し、光電子放出用の光15を照射する手段を設けた走査型電子顕微鏡である。
請求項（抜粋）：
電子線源から射出した電子線の通路を形成する真空室と、前記真空室に圧力制限開口を挟んで連結され、ガス増幅を行う気体が供給される試料室と、前記電子線源により発生した電子線を前記圧力制限開口を通して前記試料室に収納された試料上に集束する集束手段と、前記集束された電子線を前記試料上で走査する走査手段と、前記試料室に配置され、前記試料から発生した後に前記気体によりガス増幅された2次電子を検出する2次電子検出手段とを有する環境制御型の走査型電子顕微鏡において、光電子放出用の光を前記試料上における前記電子線の走査領域全域に対し照射する手段を設けたことを特徴とする環境制御型の走査型電子顕微鏡。
IPC (4件)：
H01J 37/20
, H01J 37/18
, H01J 37/244
, H01J 37/28
