特許

J-GLOBAL ID：200903001537469210

画像処理方法及び装置

発明者： 片岡 義徳
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-100958
公開番号（公開出願番号）：特開平6-309434
出願日： 1993年04月27日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】 入力された画像の中から特定のパターンをパターンマッチングにより確実に認識できる画像処理方法および装置を提供する。【構成】 参照画像を抽出した位置に対応する、入力された画像中の位置を基準位置とする。CPU25は、画像処理プロセッサ24によって切出される対象画像に対して、基準位置からの距離に応じた重み係数を設定し、それぞれの対象画像と参照画像との相関値と、重み係数との積を算出し、この算出結果に基づいて入力された画像の中から参照画像と同一の対象画像を検出する。

請求項（抜粋）：

複数のパターンを含む第1の画像の中から、所望のパターンの参照画像を抽出して記憶し、前記第1の画像と同一の大きさの第2の画像の中から前記参照画像と同一の画像をパターンマッチングにより検出する画像処理方法において、前記第2の画像を取り込む画像入力工程と、前記参照画像と同一の大きさの対象画像を前記第2の画像から順次切り出す画像切出工程と、前記第1の画像中の前記参照画像を抽出した位置に対応する、前記第2の画像中の位置を基準位置とし、該基準位置と前記対象画像の切り出し位置との間の距離に基づいて、前記対象画像それぞれに対して重み係数を設定する重み係数設定工程と、前記対象画像と前記参照画像との相関値を算出する相関値算出工程と、前記相関値算出工程で得られた相関値と、前記対象画像に対して設定された重み係数との積をそれぞれ算出する演算工程と、該演算工程での算出結果に基づいて、前記第2の画像の中から前記参照画像と同一の対象画像を検出する検出工程と、を含むことを特徴とする画像処理方法。

IPC (4件)：

G06F 15/62 400 ,  G01N 21/88 ,  G06F 15/70 455 ,  H01L 21/027