特許

J-GLOBAL ID：200903001539730691

真空引き装置

発明者： 茨木 誠一
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 菅沼 徹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-318478
公開番号（公開出願番号）：特開平9-137786
出願日： 1995年11月14日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】【課題】 多段真空ポンプ10の設計圧力比を低減してそのコストを低減するとともにその消費動力を節減する。【解決手段】 被真空機器3と多段真空ポンプ10の各段1、2の入口とを結ぶ吸込管41、42と各段1、2の出口を大気に連通する吐出管61、62を設ける。そして、各吸込管41、42に開閉弁51、52を介装するとともに前段1の出口を後段2の入口又は大気に選択的に連通させる切換弁8、9を設けた。

請求項（抜粋）：

被真空機器と多段真空ポンプの各段の入口とを結ぶ吸込管と各段の出口を大気に連通する吐出管を設け、上記吸込管に開閉弁を介装するとともに上記多段真空ポンプの前段の出口を後段の入口又は大気に選択的に連通させる切換弁を設けたことを特徴とする真空引き装置。

IPC (3件)：

F04C 23/00 ,  F04B 37/16 ,  F04C 25/02

FI (4件)：

F04C 23/00 D ,  F04B 37/16 E ,  F04B 37/16 D ,  F04C 25/02 B