特許

J-GLOBAL ID：200903001545352399

マスク運搬用ケース

発明者： 吉田 雅夫 ,  内田 茂 ,  根岸 秀雄 ,  根本 哲哉
出願人/特許権者： アルバック成膜株式会社
代理人 (1件)： 北村 欣一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-334102
公開番号（公開出願番号）：特開2001-154341
出願日： 1999年11月25日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】埃の浸入を防止できる密閉性を備えると共に被せ蓋の取り外しの作業が容易で、作業性の良いマスク運搬用ケースを提供する。【解決手段】上方にマスク5を収容する開口2を備えたケース本体1と、ケース本体に被せられて開口を塞ぐ被せ蓋3を有し、ケース本体の周面に設けた突起10に該蓋の下縁7から下方へ延びた弾力性を有する係合片8に形成した係合孔9を係合させてロックするマスク運搬用ケースに於いて、ケース本体の開口縁6に続く外周面11に係合片がはまり込む上方から切り込まれた凹部12を形成すると共に、ケース本体の開口縁に続く外周面11と、被せ蓋の下縁に続く外周面13及び係合片の外周面14を同一面に形成し、凹部に係合片の係合孔と係合する突起を設け、係合片の側部にこれを横方向へ引き起こし可能にする切り込み15を設けた。

請求項（抜粋）：

上方にマスクを収容する開口を備えた合成樹脂製のケース本体と、該ケース本体に被せられて該開口を塞ぐ合成樹脂製の被せ蓋を有し、該ケース本体の周面に設けた突起に該蓋の下縁から下方へ延びた弾力性を有する係合片に形成した係合孔を係合させてロックするマスク運搬用ケースに於いて、該ケース本体の開口縁に続く外周面に該係合片がはまり込む上方から切り込まれた凹部を形成すると共に、該ケース本体の開口縁に続く外周面と、該被せ蓋の下縁に続く外周面及び該係合片の外周面を同一面に形成し、該凹部に該係合片の係合孔と係合する該突起を設け、該係合片の側部にこれを横方向へ引き起こし可能にする切り込みを設けたことを特徴とするマスク運搬用ケース。

IPC (3件)：

G03F 1/14 ,  B65D 25/10 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 1/14 M ,  B65D 25/10 ,  H01L 21/30 503 E

Fターム (14件)：

2H095BB29 ,  2H095BB30 ,  2H095BE12 ,  3E062AA01 ,  3E062AB10 ,  3E062AC02 ,  3E062BA20 ,  3E062BB06 ,  3E062FA02 ,  3E062FB01 ,  3E062FC03 ,  5F046AA21 ,  5F046CB17 ,  5F046CD02

引用特許：

出願人引用 (3件)

• ガラス板運搬容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-219912   出願人：株式会社大八化成
• フォトマスク用容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-264243   出願人：凸版印刷株式会社
• 密封容器の封止具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-300449   出願人：信越ポリマー株式会社, 信越半導体株式会社