特許
J-GLOBAL ID：200903001547151668
容量型三軸加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-305176
公開番号（公開出願番号）：特開平5-203667
出願日： 1991年11月21日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：
【要約】【目的】小型で量産性に富み、特性の温度依存性を小さくして高精度な三軸加速度センサを実現することにある。【構成】可動電極基板1と固定電極基板17とを有し、可動電極基板1の重り部2が直交する2方向の両持梁4,6および3,5によって支えられている。この重り部の重心19は梁3〜6の厚さ方向中央面18から偏って位置している。また、重り部2の下面とこれに対向する基板面に分割された電極8〜11および20〜23を配置することにより、3方向の加速度成分に対応して変化する複数の加速度検出容量を構成する。この容量変化は電気信号に変換する検出回路部と、検出信号を加減演算する演算処理部とで処理される。
請求項（抜粋）：
重り部と前記重り部を支えるための直交する二方向の両持梁と前記両持梁を支持する固定枠とを第一の半導体基板に形成し且つ前記重り部の下面に可動電極を備えた可動電極基板と、第二の半導体基板に形成した窪みの底部に前記可動電極に対し所定の間隔をもって対向配置される固定電極を備え且つ前記可動電極基板に接合される固定電極基板とを有し、前記重り部の重心を前記両持梁の中央面から偏って位置させ、前記可動電極および前記固定電極により直交する三方向の加速度成分に対応して変化する複数の可変容量を構成することを特徴とする容量型三軸加速度センサ。
引用特許：
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