特許
J-GLOBAL ID：200903001547899565
ICハンドラ用デバイス搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-094524
公開番号（公開出願番号）：特開平8-264993
出願日： 1995年03月28日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、デバイス収容ポケット間隔202が最小吸着ヘッド間隔90よりも挟ピッチのカストマトレイ100に対しても対応可能でスループットの低下を最小限に停めたデバイス搬送手段を実現する。【構成】 多連吸着ヘッド80の最小吸着ヘッド間隔90より挟ピッチでDUT収容容器上に置かれたDUTを搬送する場合に、多連吸着ヘッド80の各吸着ヘッド81の吸着ヘッド間隔90を、DUT配列間隔のN倍の間隔として複数のDUTを一度に吸着/開放する手段を設ける。
請求項（抜粋）：
被試験デバイス(DUT)が配列収容されたDUT収容容器から別のDUT収容容器に、複数の吸着ヘッド(81)を有する多連吸着ヘッドで搬送する搬送装置において、多連吸着ヘッドの最小吸着ヘッド間隔(90)より挟ピッチでDUT収容容器上に置かれたDUTを搬送する場合に、多連吸着ヘッドの各吸着ヘッド(81)の吸着ヘッド間隔(90)を、DUT配列間隔のN倍の間隔として複数のDUTを一度に吸着/開放する手段を設け、以上を具備していることを特徴としたICハンドラ用デバイス搬送装置。
IPC (3件)：
H05K 13/02
, B65G 47/91
, G01R 31/26
H05K 13/02 Z
, B65G 47/91 A
, G01R 31/26 Z
