特許
J-GLOBAL ID：200903001550513929
半導体角速度センサとその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-306463
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160064
出願日： 1994年12月09日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】 生産性がよく、安価で性能の安定したセンサを得る。【構成】 シリコン基板により枠部1と振動子2と薄肉のフレクチャー9とが形成される。各振動子2は板面と直角な方向の屈曲振動の共振周波数が相等しい片持梁状に形成されている。各振動子2,フレクチャー9及び枠部の一辺1a上に一面に圧電膜3が形成される。振動子2上に駆動用圧電素子5の電極5d及びモニタ用圧電素子6の電極6dが、フレクチャー9上に検出用圧電素子7の電極7dがそれぞれ形成される。枠部1に基板用電極8が形成される。両端の振動子2と中央の振動子2とでは屈曲振動の方向が逆となるように、基板用電極8と各駆動用電極5dとの間に駆動電圧が印加される。そのときのフレクチャー9a,9b上の検出用圧電素子7の出力Va,Vbの差値から、振動子2の長手方向に印加された入力角速度を検出する。
請求項（抜粋）：
半導体基板により形成され、枠部と、その枠部の一辺より一体に、対辺の近傍まで突出され、板面と直角方向の屈曲振動の共振周波数が相等しい片持梁状の複数(3またはそれ以上)の振動子と、それら隣接する各振動子間を橋絡する薄肉の複数のフレクチャーとを有し、前記各振動子上に駆動用圧電素子(圧電膜とその上に形成された電極とより成る、他も同じ)が、前記枠部上に基板用電極が、前記フレクチャー上に検出用圧電素子がそれぞれ形成され、前記振動子の少なくとも1つとその他とは互いに逆方向に屈曲振動するように、前記基板用電極と前記駆動用圧電素子の電極との間に駆動電圧が印加され、そのときの、所定のフレクチャー上の検出用圧電素子の出力と他の所定のフレクチャー上の検出用圧電素子の出力との差値から、前記振動子の長手方向に印加された入力角速度を検出することを特徴とする半導体角速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 9/04
, G01C 19/56
, H01L 29/84
