特許
J-GLOBAL ID：200903001557814657
デポジションチャンバの排気口装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
増田 竹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-071517
公開番号（公開出願番号）：特開平7-252659
出願日： 1994年03月16日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：
【要約】【目的】 スートの付着によって断面積の減少しないデポジションチャンバの排気口装置。【構成】 外付け法によってスートを堆積させてスート円柱体1を形成するデポジションチャンバ3の排気口に、この排気口を複数個の開口22に区分する層流板装置2を設け、各開口22ごとにその開口の開き度を調節するシャッタ板4、および排気の風速を検知する風速センサ5を配設し、さらにこの層流板装置2に機械的振動を与える加振装置6を取り付けたものである。
請求項（抜粋）：
外付け法によってスートを堆積させてスート円柱体(1)を形成するデポジションチャンバ(3)の排気口に、この排気口を複数個の開口(22)に区分する層流板装置(2)を設け、各開口(22)ごとにその開口の開き度を調節するシャッタ板(4)、および排気の風速を検知する風速センサ(5)を配設し、さらにこの層流板装置(2)に機械的振動を与える加振装置(6)を取り付けて成るデポジションチャンバの排気口装置。
IPC (4件)：
C23C 16/44
, B01J 4/00 102
, C03B 37/018
, B08B 17/02
