特許
J-GLOBAL ID：200903001560553163
ねじり振動子および光偏向子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松崎 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-291839
公開番号（公開出願番号）：特開平6-175060
出願日： 1992年10月30日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【目的】 小型かつ安価な構成で安定な動作を可能とする。【構成】 1対のねじりばね22と板状部材(反射ミラー)21とからなる第1ねじり振動子2の外側に、外枠部31と第2のねじりばね32とからなる第2ねじり振動子3を形成し、固定部4により第2ねじり振動子3を固定する。そして、第1ねじり振動子2の共振周波数を第2ねじり振動子3のそれよりも高く設定し、第2ねじり振動子3の外枠部31を磁気引力または静電引力により、第1ねじり振動子の共振周波数近傍で駆動することで、小さな駆動力で大きな変位または走査角を安定して得られるようにする。図は外枠部31に一方向の磁気引力または静電引力を加える例であるが、これを偶力とすることもできる。
請求項（抜粋）：
板状部材と第1ばね部とからなる第1振動子と、この第1振動子に接続される応動部と第2ばね部とからなる第2振動子とを持つ2自由度以上の振動子の前記応動部に駆動力を与え、第1振動子の共振周波数近傍で動作させることを特徴とするねじり振動子。
IPC (2件)：
G02B 26/10 101
, B25J 7/00
