特許
J-GLOBAL ID：200903001565944128
位置測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
江崎 光史 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-081651
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285566
出願日： 1996年04月03日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【課題】 測定板ができるだけ反作用力のない状態で保持されかつ測定板とその支持体の間の熱的に条件づけられた応力が避けられる位置測定装置用のスケールを提供する。【解決手段】 この位置測定装置は、支持体(8) と測定板(6) とからなるスケール(5) で形成される。測定板(6) は、互いに間隔を置いた二つの支承部(13,14)を介して支持体(8) と連結されている。支承部の一方(13)は支持体(8) に測定板(6) を固定するための固定点を形成する。第二の支承部(14)は弾性的な固定点を形成するので、固定支承部(13)から出発して、支持体(8) に対して、測定板(6)の熱的に条件づけられた長手方向移動可能性が起こり得る。
請求項（抜粋）：
スケールと、このスケールを読み取る走査ユニットとを有する、相対的に互いに変位する二つの物体を測定するための位置測定装置であって、前記スケールは、目盛りを支持する測定板と、この測定板のための支持体とからなり、測定板がその支持体に固定点に対して長手方向に移動可能に固定されている位置測定装置において、測定板(6) がその長手延長方向において互いに間隔を置いた二つの領域で支持体(8) に支えられて載っており、それらの支え領域の一方が固定支承部(13)を形成し、他方の支え領域が弾性的な支承部(14)を形成しており、その際支え領域はそれぞれ唯一の実質的に線状の支承部(13,14) により形成され、線状の支承部(13,14) が測定板(6) の長手延長方向を横切って延びておりかつ連続してまたは中断して形成されていることを特徴とする位置測定装置。
引用特許：
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