気体清浄化手段を有する搬送装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：吉嶺桂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-056323
公開番号（公開出願番号）：特開平6-252242
出願日： 1993年02月23日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】各種汚染物質を除去して、清浄な空間を得ることのでき密閉可能な空間を有する搬送装置を提供すること。【構成】密閉可能な空間を有する搬送装置1において、該空間内に光電子放出材7と紫外線源6及び/又は放射線源と電極8とを有する気体清浄化手段を設けたものである。紫外線源6等の照射により発生する光電子10により、空間中の微粒子5が荷電微粒子11となり電極8で捕集される。

請求項（抜粋）：