特許
J-GLOBAL ID：200903001567127690
マイクロマシン用光電変換デバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
目次 誠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-028034
公開番号（公開出願番号）：特開平9-223808
出願日： 1996年02月15日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：
【要約】【課題】 マイクロマシン内のアクチュエータ等に供給する電力を効率よく発電することができるとともに、光通信によるアクチュエータ等への制御信号を感度よく検知し制御性を高めることができ、しかも軽量化及び小型化を図ることができるマイクロマシン用光電変換デバイスを得る。【解決手段】 制御信号を検知するための光学センサとして結晶系シリコン光電変換素子10を設け、この上に該結晶系シリコン光電変換素子10の受光部4a領域を残すように、電力を供給するための光起電力素子として非晶質シリコン光電変換素子3を設けることを特徴としている。
請求項（抜粋）：
マイクロマシンに照射される光によって制御信号が与えられ、かつマイクロマシンに照射される光を電気エネルギーに変換することにより電力が供給されるマイクロマシン用の光電変換デバイスであって、前記制御信号を検知するための光学センサとして結晶系シリコン光電変換素子が設けられ、この上に該結晶系シリコン光電変換素子の受光部領域を露出させて、前記電力を供給するための光起電力素子としての非晶質シリコン光電変換素子を設けたことを特徴とするマイクロマシン用光電変換デバイス。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 31/04 Q
, H02N 6/00
, H01L 31/04 B
