特許
J-GLOBAL ID：200903001568691247
吸着式固定治具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清原 義博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-193993
公開番号（公開出願番号）：特開平8-323572
出願日： 1995年05月30日
公開日（公表日）： 1996年12月10日
要約：
【要約】【目的】 加工治具本体の当てつけ面が被加工体の曲面に良く倣い、被加工体との当接部に傷等の欠陥が生じた場合であっても、被加工体を確実に保持し、しかも当てつけ面の管理が容易な吸着式固定治具を提供する。【構成】 曲面が被吸着面である被加工体を加工に供するために吸着固定する吸着式固定治具において、この支持部材と被加工体との接触面に、該被加工体の吸着面と略一致する曲面形状を有する多孔質シートを介在させたことを特徴とする、吸着式固定治具である。
請求項（抜粋）：
曲面が被吸着面である被加工体を加工に供するために吸着固定する吸着式加工治具において、支持部材と被加工体との接触面に、該被加工体の曲面と略一致する曲面形状を有する多孔質シートを介在させたことを特徴とする吸着式固定治具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23Q 3/08 A
, H01L 21/68 P
