特許
J-GLOBAL ID：200903001585159400
光透過球面形状体の外観検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
伊藤 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-178529
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023414
出願日： 1997年07月03日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】 被検査物の外観検査装置において、被検査物の透過光と、被検査物を透過しない直接光とが電子撮像装置に入射され画像に照りが生じ、被検査物の外形及び欠陥部分が照りにより相殺され、判別が困難であった。【解決手段】 本発明は、被検査物の外周外側の下方向から円形状の照明光を投射し、前記被検査物内の透過光により被検査物の欠陥部分で乱反射させて欠陥部分を強調させ、さらに、前記透過光と直接光をマスク手段で遮閉し、電子撮像装置で撮像した被検査物と被検査物周辺の画像とのコントラストを改善し、被検査物の外形認識と欠陥部分の認識及び識別を安易に行えるようにした。
請求項（抜粋）：
光透過率の優れた部材で球面形状に形成された被検査物に照明光を投射し、その被検査物を透過した照明光を電子撮像装置で撮像した映像を用いて、被検査物の外観検査を行う光透過球面形状体の外観検査装置において、前記被検査物に円形状の照明光を投射する円形光源手段と、前記円形光源手段からの照明光のうち、前記被検査物を透過した照明光を透過させる円形状の開口を有したマスク手段と、前記マスク手段を透過した照明光を撮像する電子撮像手段と、を具備し、前記マスク手段で前記被検査物の外周外側を透過する不要照明光を遮閉し、かつ前記マスク手段の開口を透過した前記被検査物の透過照明光を前記電子撮像手段で撮像し、その電子撮像手段で撮像した映像を用いて被検査物の外観検査判定することを特徴とした光透過球面形状体の外観検査装置。
引用特許：
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