投影露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-289413
公開番号（公開出願番号）：特開平7-074086
出願日： 1993年11月18日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】【目的】投影露光装置を提供する。【構成】光源、平行光形成レンズ、蠅目レンズが光進行経路上に順次に配置され、平行光形成レンズと蠅目レンズとの間には光分散手段として中央部がひとつの凹レンズよりなった第1光分散レンズまたは中央部が多数の小型凹レンズよりなった第2光分散レンズが置かれる。【効果】これにより、主として周辺部の光を用いる斜入射照明における光利用効率を高める。

請求項（抜粋）：

光源と、前記光源から光を伝達されマスクを照明する蠅目レンズと、前記照明を変形照明にするための変形照明手段を備える投影露光装置において、前記蠅目レンズの前方の光進行経路上に置かれて入射される中央部の光を前記蠅目レンズの周辺部に分散して出射させる光分散レンズをさらに備えることを特徴とする投影露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (1件)

照明光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-047409 出願人：株式会社ニコン

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