特許
J-GLOBAL ID：200903001589678690
粒子濃度測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-164214
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010868
出願日： 1991年07月04日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：
【要約】【構成】レーザトラップ用レーザ2からのレーザ光をセル9内にレンズ7及び8で集光し、集光領域内にトラップしきい値を越える粒子を濃縮する。レーザブレイクダウン用レーザ1からのレーザ光を集光位置を一致させて照射して粒子によるレーザブレクダウンを誘起させ、そのプラズマ光を光検出器11で検出することにより、セル内の流体中の微粒子濃度を高感度で粒径弁別測定できる。【効果】レーザトラップにより粒子を集光領域内に粒径弁別して濃縮後、レーザブレイクダウンを誘起することにより、流体中の微粒子濃度を高感度で粒径弁別測定することができる。
請求項（抜粋）：
レーザトラップによりトラップしきい値を越える粒子のみをレーザ光の集光領域内に濃縮し、前記集光領域内の粒子により誘起されるレーザブレイクダウンプラズマを検出して粒子計数し、粒子濃度を粒径弁別測定することを特徴とする粒子濃度測定装置。
IPC (2件)：
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