特許

J-GLOBAL ID：200903001592275912

透過型回折格子、ならびにそれを用いた分光素子および分光器

発明者： 橘高 重雄 ,  山田 健太郎 ,  中澤 達洋 ,  常友 啓司
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 伊藤 俊哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-292173
公開番号（公開出願番号）：特開2007-101926
出願日： 2005年10月05日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：

【課題】 回折効率の高い回折格子を、製作しやすい単純な構造で実現する。【解決手段】 回折格子100には矩形のリッジ部20が一定の周期pで並んでおり、このリッジ部20は基板10側から順に、第1低屈折率部11、高屈折率部12、第2低屈折率部13から構成されている。第1低屈折率部11と基板10との屈折率差を0.1以下とすることにより、エッチングでリッジ部20を形成する際にエッチング深さを厳密に制御する必要なしに、回折効率の高い回折格子を作製できる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板上に互いに平行な複数のリッジ部が一定の周期で設けられた透過型回折格子において、 前記リッジ部は、前記基板側から順に、第1低屈折率部、高屈折率部および第2低屈折率部を含んでなり、 前記第1低屈折率部は、前記基板との屈折率差が0.1以下であり、 前記高屈折率部は、前記第1低屈折率部および第2低屈折率部よりも高屈折率であることを特徴とする透過型回折格子。

IPC (2件)：

G02B 5/18 ,  G01J 3/18

FI (2件)：

G02B5/18 ,  G01J3/18

Fターム (9件)：

2G020CC04 ,  2G020CC11 ,  2G020CC63 ,  2H049AA03 ,  2H049AA13 ,  2H049AA37 ,  2H049AA45 ,  2H049AA58 ,  2H049AA61