特許
J-GLOBAL ID：200903001601160457
X線窓材及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-090663
公開番号（公開出願番号）：特開平6-289145
出願日： 1993年03月24日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】 BeのX線窓材は軽元素からの低エネルギーX線を吸収するので、これを用いたエネルギー分散型X線分析装置は、酸素や窒素からの特性X線を検出できない。軽元素からの低エネルギーのX線の透過特性に優れ、耐久性、耐圧性に優れたX線窓材を提供すること。【構成】 ダイヤモンドの厚い膜を気相合成法によって形成し、マスクをその上に形成して選択的にエッチングし、薄くなった部分をX線の透過部とし、マスクされてエッチングされなかった部分をバックアップグリッドする。
請求項（抜粋）：
基板上に気相合成法によって合成されたダイヤモンド膜を必要な厚さまで選択的にエッチングし、基板のX線を通すべき中央部を除去し、エッチングされて薄く残ったダイヤモンド薄膜部分をX線透過部、エッチングされず残ったダイヤモンド部分をバックアップグリッドとすることを特徴とするX線窓材の製造方法。
IPC (2件)：
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