特許
J-GLOBAL ID：200903001604323187
結晶成長装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-094727
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277431
出願日： 1999年04月01日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】【課題】 排気系配管1に反応生成物、分解物等からなるゴミ4による詰まりを生じにくくし、ゴミを除去するメンテナンス頻度を低くする。【解決手段】排気系配管1の詰まりの生じやすい部分、例えば曲がった部分2にゴミ4を受けるゴミ受け部5を設ける。
請求項（抜粋）：
反応部に連結された排気系配管の詰まりの生じやすい部分に、詰まりの原因となる反応生成物、分解物等からなるゴミを受けるゴミ受け部を設けてなることを特徴とする結晶成長装置。
Fターム (5件)：
5F045AA04
, 5F045AB09
, 5F045AB17
, 5F045BB08
, 5F045EG01
