特許

J-GLOBAL ID：200903001605675184

ガス圧制御方法およびガス圧制御装置

発明者： 松宮 康夫
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 柏谷 昭司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-145864
公開番号（公開出願番号）：特開平7-006962
出願日： 1993年06月17日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【目的】 ガス圧制御方法およびガス圧制御装置に関し、コンダクタンス制御方式のバルブとガスバラスト制御方式のバルブの両方を一括して制御することによって、広い範囲にわたってガス圧を高速に制御する手段を提供する。【構成】 反応チャンバー1と排気ポンプ5の間を接続する排気管73 に排気管バルブ3を設け、この排気管に接続されるバラストガス導入管72 にバラストガス導入管バルブ4を設け、反応チャンバー1内のガス圧が設計値より小さくなるとバラストガス導入管バルブ4の開度を大きくし、反応チャンバー1内のガス圧が設計値より大きくなるとバラストガス導入管バルブ4の開度を小さくし、バラストガス導入管バルブ4の開度が下限設定値より小さくなると排気管バルブ3の開度を大きくし、バラストガス導入管バルブ4の開度が上限設定値より大きくなると排気管バルブ3の開度を小さくするように制御する。

請求項（抜粋）：

反応チャンバーと排気ポンプの間を接続する排気管に1以上の排気管バルブを設け、該排気管に接続されたバラストガス導入管に1以上のバラストガス導入管バルブを設け、該反応チャンバー内のガス圧がガス圧設定値より小さくなると該バラストガス導入管バルブの開度を大きくし、該反応チャンバー内のガス圧がガス圧設定値より大きくなると該バラストガス導入管バルブの開度を小さくし、該バラストガス導入管バルブの開度が予め定められたバラストガス導入管バルブ開度下限設定値より小さくなると該排気管バルブの開度を大きくし、該バラストガス導入管バルブの開度が予め定められたバラストガス導入管バルブ開度上限設定値より大きくなると該排気管バルブの開度を小さくすることによって該反応チャンバー内のガス圧をガス圧設定値に維持することを特徴とするガス圧制御方法。

IPC (4件)：

H01L 21/205 ,  C23C 14/56 ,  C23C 16/54 ,  G05D 16/00