透明膜の膜厚測定方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-339229
公開番号（公開出願番号）：特開2001-147107
出願日： 2000年11月07日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：

【要約】【課題】透明膜の膜厚を測定するための方法および装置を提供する。【解決手段】照射ビーム(4)は、対物レンズ(5)を通過して透明膜(2)を有する対象物(1)に向けられる。構造化された焦点合せ補助部材(9)が照射ビーム(4)内に配置され、カメラ(13)が画像ビーム(12)内に配置され、それぞれが対物レンズ(5)の焦点面(8)と共役な位置に配置される。対物レンズ(5)の焦点面(8)は、対象物(1)を通って徐々に移動される。それぞれの位置で、カメラ画像が記録され、その焦点スコアが決定され、焦点合せ補助部材(9)の画像が鮮鋭度表示装置として使用される。極大の焦点スコアを有する位置が、界面の位置に割当てられる。透明膜(2)の厚さは、その界面の位置同士の差から算出される。

請求項（抜粋）：

透明膜における膜厚測定方法であって、a)対物レンズ(5)を用いて誘導され、前記透明膜(2)に垂直な方向に向けられる光軸(6)を有する照射ビーム(4)、前記照射ビーム(4)に配置される構造化されたのある焦点合せ補助部材(9)および前記対物レンズ(5)の焦点面(8)と共役な位置で画像ビーム(12)に配置されるカメラ(13)によって、透明膜(2)を有する対象物(1)を照射するステップと、b)Z方向において、前記対物レンズ(5)に対して、離散的な位置ziまで前記対象物(1)を徐々に移動するステップと、c)各停止位置ziでカメラ画像を記録し、関連するzi値を測定するステップと、d)記録された各カメラ画像からそれぞれの位置ziに割当てられた焦点スコアF(zi)を識別するステップと、e)前記焦点スコアF(zi)の極大値を決定するステップと、f)前記対象物(1)の前記界面に前記極大値を割当てるステップと、g)その界面に割当てられた前記極大値の2つのzi位置z1,z2の間の差から、前記対象物(1)に包囲された前記透明膜(2)の膜厚であって、nfilmが前記膜の屈折率である場合にd=(z1-z2)・nfilmによって与えられた前記透明膜(2)の前記膜厚を決定するステップと、からなる透明膜における膜厚測定方法。

引用特許：

審査官引用 (8件)

膜厚測定機能付光学顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-166898 出願人：株式会社キーエンス
光学測定装置および光学測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-350802 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
画像認識装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-065123 出願人：富士通株式会社

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