特許

J-GLOBAL ID：200903001610641832

研磨システム及びその制御方法

発明者： 屋鋪 博 ,  石橋 好司
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 塚原 孝和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-290278
公開番号（公開出願番号）：特開平11-114813
出願日： 1997年10月07日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：

【要約】【課題】 ワークの研磨精度を維持しつつ、ワークの確実な搬入及び搬出が可能な研磨システム及びその制御方法を提供することを目的とする。【解決手段】 研磨装置1と搬入装置2と搬出装置3と制御装置4とを備える。研磨装置1において、n枚のキャリア14に穿設されたm数の保持孔15に保持されたワークWを下定盤10と上定盤19とで両面研磨する。制御装置4により、ワークWが所望厚さになった時点でキャリア14の公転角度を求め、求めた公転角度にもっとも近い360 ゚/nの整数倍の公転角度迄、キャリア14を公転させて、研磨装置1を停止させる。そして、停止時のキャリアの自転角度を求め、この自転角度だけ、ローダ23及びアンローダ33の取付体24,34を自転させて、ワークWのキャリア14からの搬出及び搬入を行う。

請求項（抜粋）：

回転可能な下定盤,この下定盤の中心部で回転可能なサンギア,このサンギアの外側に同心状に配された回転可能なインターナルギア,その中心周りに360 ゚/mの間隔で穿設されたm数の保持孔を有し且つ上記サンギアとインターナルギアとに噛合された状態でサンギアの中心周りに360 ゚/nの間隔で配されたn数のキャリア,及び上記下定盤と共にキャリアの保持孔内のワークを挟持した状態で下定盤と逆方向に回転可能な上定盤を有してなる研磨部と、上記研磨部側に移動可能なローダ,上記n数のキャリアと対応した配置状態で上記ローダに設けられ且つ各々自転可能なn数の取付体,上記m数の保持孔と対応した配置状態で上記各取付体に取り付けられたm数のチャック,及び上記ローダに設けられ上記n数の取付体を一体に自転させることが可能な回転機構を有し、未研磨のワークを上記チャックで保持して上記研磨部のキャリアに穿設された保持孔に搬入する搬入部と、上記研磨部側から移動可能なアンローダ,上記n数のキャリアと対応した配置状態で上記アンローダに設けられ且つ各々自転可能なn数の取付体,上記m数の保持孔と対応した配置状態で上記各取付体に取り付けられたm数のチャック,及び上記アンローダに設けられ上記n数の取付体を一体に自転させることが可能な回転機構を有し、既研磨のワークを上記チャックにより上記キャリアの保持孔から取り出して所定場所に搬出する搬出部と、上記ワークが所望厚さになった時点でのキャリアの公転角度に最も近い360 ゚/nの整数倍の公転角度までキャリアを公転させて研磨部を停止させると共に、当該停止時におけるキャリアの自転角度を求め、上記ローダ及びアンローダの各回転機構を制御して、この自転角度だけ、上記ローダ及びアンローダの各取付体を自転させる制御部とを具備することを特徴とする研磨システム。