特許

J-GLOBAL ID：200903001611440580

ガラス微粒子堆積装置

発明者： 桑原 正英 ,  香村 幸夫
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-281739
公開番号（公開出願番号）：特開2000-109327
出願日： 1998年10月02日
公開日（公表日）： 2000年04月18日
要約：

【要約】【課題】ガラス微粒子堆積装置の反応容器内において、気流が乱れ、流れの淀み等を防止して、ガラス微粒子等の内壁面への付着を防止する。【解決手段】気体を供給する給気口11a及び内部の気体を排出する排気口11bを有する反応容器11と、反応容器内にてガラス微粒子を生成するバーナ12と、バーナにより生成されるガラス微粒子を堆積させる種棒13とを備え、反応容器のそれぞれの内壁面に沿う気体の流れがお互いに干渉しないように、排気口11bを形成する通路を反応容器11の内壁面に対して滑らかに接続し、給気口11aから清浄気体を供給すると共に反応容器内での気体の流れが層流となるように排気口11bから強制排気する。

請求項（抜粋）：

気体を供給する給気口及び内部の気体を排出する排気口を有する反応容器と、前記反応容器内にてガラス微粒子を生成するバーナと、前記バーナにより生成されるガラス微粒子を堆積させるべく前記反応容器内に挿入されるターゲットとを備えて、前記ターゲットを基にガラス微粒子堆積体を成長させるガラス微粒子堆積装置であって、前記給気口から清浄気体を供給すると共に、前記反応容器内での気体の流れが層流となるように前記排気口から強制排気されてなる、ことを特徴とするガラス微粒子堆積装置。

IPC (3件)：

C03B 8/04 ,  C03B 37/018 ,  G02B 6/00 356

FI (3件)：

C03B 8/04 A ,  C03B 37/018 A ,  G02B 6/00 356 A

Fターム (3件)：

4G014AH19 ,  4G021EA03 ,  4G021EB22