特許
J-GLOBAL ID：200903001626690019

プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法

発明者：
植杉 隆二

植杉 隆二 について

, 
黒光 祥郎

黒光 祥郎 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-167592
公開番号（公開出願番号）：特開2000-357454
出願日： 1999年06月15日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：
【要約】【課題】 隔壁を容易かつ高精度に形成し、残渣を低減し、またセル形成部の焼失に伴う収縮時における隔壁の変形を防止する。【解決手段】 先ずガラス基板11上に隔壁材料を積層して隔壁材料層12を形成し、この隔壁材料層12上に感光性材料を積層して感光性材料層13を形成する。次に感光性材料層13を所定のパターンで露光した後に現像して隔壁形成予定部に対応する部分を除去することにより、隔壁形成用溝13a及びセル形成部13bを形成し、セル形成部13bの表面及び隔壁形成用溝13aの内部を離型膜にて被覆する。更に感光性材料層13を隔壁材料層12に加圧することにより隔壁形成用溝13aに隔壁材料を侵入させて隔壁17を形成し、隔壁17を焼成するとともにセル形成部13bを焼失させる。
請求項（抜粋）：
プラズマディスプレイパネルのガラス基板(11)上に放電セル(18)形成用の隔壁(17)を形成する方法において、前記ガラス基板(11)上に隔壁材料を積層して隔壁材料層(12)を形成する工程と、前記隔壁材料層(12)上に感光性材料を積層して感光性材料層(13)を形成する工程と、前記感光性材料層(13)を所定のパターンで露光した後に現像して隔壁形成予定部に対応する部分を除去することにより隔壁形成用溝(13a)及びセル形成部(13b)を形成する工程と、前記セル形成部(13b)の表面及び前記隔壁形成用溝(13a)の内部を離型膜にて被覆する工程と、前記感光性材料層(13)を前記隔壁材料層(12)に加圧することにより前記隔壁形成用溝(13a)に前記隔壁材料を侵入させて隔壁(17)を形成する工程と、前記隔壁(17)を焼成するとともに前記セル形成部(13b)を焼失させる工程とを含むプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
IPC (3件)：
H01J 9/02 ,  H01J 11/00 ,  H01J 11/02
FI (3件)：
H01J 9/02 F ,  H01J 11/00 K ,  H01J 11/02 B
Fターム (9件)：
5C027AA09 ,  5C040FA01 ,  5C040FA04 ,  5C040GB03 ,  5C040GB14 ,  5C040GF19 ,  5C040JA15 ,  5C040JA20 ,  5C040MA26
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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