特許
J-GLOBAL ID:200903001627248190

電子放出型発光素子の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 吉田 茂明 ,  吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-342148
公開番号(公開出願番号):特開2004-178891
出願日: 2002年11月26日
公開日(公表日): 2004年06月24日
要約:
【課題】カーボンナノチューブを含むカーボン物質の剥がれによるカソード-ゲート間ショートや不要箇所からの電子放出を発生させず、低電圧駆動で十分な電子放出量を安定的に得ることができる電子放出源を有する、電子放出型発光素子の製造方法を提供する。【解決手段】カソード電極131上に十分固着していないカーボン物質201及び低融点ガラス粒子221を機械的に除去する。機械的に除去する方法としては、塵を発生させない防塵布501をカソード電極131上に押し当てて複数回拭き取る方法がある。ここで、防塵布501は、例えばセルロース100%の材質を使用し、カソード電極131上に押し当てる圧力も最大で数百グラム/平方cm程度に制限する。拭き取られたカーボン物質201及び低融点ガラス粒子221は、エアブロー等によって吹き飛ばされる。【選択図】 図5
請求項(抜粋):
カソード電極を備え、前記カソード電極上に電子放出材料が配設された電子放出型発光素子の製造方法であって、 絶縁基板上に導電材料を被着し、前記カソード電極を形成する工程と、 前記カソード電極上に低融点ガラスと電子放出材料とを含むペースト状の混合物を印刷する工程と、 前記絶縁基板を焼成し、前記低融点ガラスを溶融させて前記電子放出材料を前記カソード電極に結合させる工程と、 外力を加えることにより、前記カソード電極に結合している前記低融点ガラス及び前記電子放出材料のうち結合力の弱い部分を前記カソード電極から取り除く除去工程とを備えている電子放出型発光素子の製造方法。
IPC (1件):
H01J9/02
FI (1件):
H01J9/02 B
Fターム (15件):
5C127AA01 ,  5C127BA09 ,  5C127BA13 ,  5C127BA15 ,  5C127BB07 ,  5C127CC02 ,  5C127CC10 ,  5C127CC46 ,  5C127DD19 ,  5C127DD64 ,  5C127DD69 ,  5C127EE03 ,  5C127EE04 ,  5C127EE12 ,  5C127EE16

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