特許

J-GLOBAL ID：200903001633874141

プローブカード

発明者： 児玉 裕嗣
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-291688
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129387
出願日： 1991年11月07日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：

【要約】【目的】本発明は、ウエハ内に形成されたチップの特性測定用のプローブカードを有するLSIテスタ等の半導体製造装置に関し、接触子間で確実に絶縁性を保持でき、かつ接触子にのる電気信号間の干渉を防止し、かつ接触子の浮遊インダクタンス(L)成分を低減して電気信号を正確に伝導することができるプローブカードを提供することを目的とする。【構成】一方の端が被測定体と接触され、他端が測定器に接続される、互いに間隔をおいて配置された複数の接触子を有するプローブカードであって、接触子22a〜22iは複数の列を成して層状に形成され、かつ各接触子列22a〜22c,22d〜22f,22g〜22iの間には板状の絶縁体21b,21c及び絶縁体21b,21cにより挟まれた板状の導電体23a〜23cが介在し、かつ導電体23a〜23cは電気的に一定の電位に固定されるようになっていることを含み構成する。

請求項（抜粋）：

一方の端が被測定体と接触され、他端が測定器に接続される、互いに間隔をおいて配置された複数の接触子を有するプローブカードであって、前記接触子は前記被測定体の接触部の配置に合わせて配置され、かつ前記各導電体間に絶縁体が介在することにより前記各導電体の互いの位置が一定になるように保持されていることを特徴とするプローブカード。

IPC (4件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/067 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26