ウェーハの洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：薬師稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-252181
公開番号（公開出願番号）：特開平10-079370
出願日： 1996年09月04日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：

【要約】【課題】ウェーハの洗浄に上蓋を効果的に使用して多機能化や多用途化を図ることのできるウェーハの洗浄装置を提供する。【解決手段】洗浄槽1の開口上部を並んで覆う一対の上蓋13の内部上方にダウンフロー室16をそれぞれ形成し、各ダウンフロー室16には天井に洗浄液を拡散噴射する複数の噴出管17を並べて内蔵する。また、ダウンフロー室16の底面と内側壁の下部に多数の洗浄液流出孔21をそれぞれ穿孔する。そして、ダウンフロー室16の底部外周の正面、背面及び外側部の三方から方向制御板22を下方に向けて伸長形成し、多数のシリコンウェーハ10に洗浄液を導くようにする。

請求項（抜粋）：

洗浄槽内に収納されたウェーハを洗浄液で洗浄するウェーハの洗浄装置において、洗浄槽の開口上部を覆う上蓋の内部上方にダウンフロー室を形成してその底部外周には洗浄液をウェーハに導く方向制御板を下方に向けて伸長形成し、ダウンフロー室に洗浄液を拡散噴射する噴出管を配備し、ダウンフロー室の底面に多数の洗浄液流出孔を形成したことを特徴とするウェーハの洗浄装置。

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