特許
J-GLOBAL ID：200903001637777825
角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 英昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-078464
公開番号（公開出願番号）：特開平5-093628
出願日： 1991年03月18日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：
【要約】【目的】小型軽量で低コストになると共に、低電圧電源で作動できる振動音叉型の半導体角速度センサを提供することにある。【構成】異方性エッチングにより基板に形成する音叉と、音叉の端部に配設した電極と、基板面上に配設された音叉を加振する駆動回路と、音叉を基板に保持する支持腕部に配設した応力変換素子及び。応力変換素子で検出した応力に対応する信号を増幅する増幅回路を基板面上に設けたものである。
請求項（抜粋）：
異方性エッチングにより基板に形成する音叉と、該音叉の端部に配設した電極と、前記基板面上に配設され前記音叉を加振する駆動回路と、前記音叉を基板に保持する支持腕部に配設した応力変換素子及び、前記応力変換素子で検出した応力に対応する信号を増幅する増幅回路を前記基板面上に設けたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
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