投影露光装置及び半導体デバイスの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮川貞二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-179587
公開番号（公開出願番号）：特開平11-354431
出願日： 1998年06月11日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】露光装置本体の熱変動が投影レンズに伝わり難いようにする。【解決手段】外側鏡筒部分と、該外側鏡筒部分を支持する搭載接続部とを有する投影光学系と;被搭載接続部を有する支持台であって、前記搭載接続部を前記被搭載接続部に接続して前記投影光学系を支持する支持台と;前記外側鏡筒部分と、前記搭載接続部と、前記支持台と、の少なくとも一つに設けられた温度制御装置とを備えることを特徴とする投影露光装置とする。温度制御装置を設けたので、投影レンズの温度を安定化させることができ、温度安定性が増すため投影レンズの性能の安定化を図ることができ、投影レンズの性能を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

鏡筒部分と、該鏡筒部分を支持する搭載接続部とを有する投影光学系と;被搭載接続部を有する支持台であって、前記搭載接続部を前記被搭載接続部に接続して前記投影光学系を支持する支持台と;前記鏡筒部分と、前記搭載接続部と、前記支持台と、の少なくとも一つに設けられた温度制御装置とを備えることを特徴とする;投影露光装置。

FI (3件)：

H01L 21/30 516 E , H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 515 F

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平2-074024
投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-279783 出願人：株式会社ニコン
特開昭63-312639

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