特許
J-GLOBAL ID：200903001653727099
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-304212
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145723
出願日： 1995年11月22日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】試料表面とプローブ先端との間に働く摩擦力のみを高感度に測定することが可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】片持ち梁4の先端に設けられた探針2の先端が所望のリサージュ軌道を描くように、片持ち梁の先端を互いに垂直方向に単振動させる振動手段は、Z変調電源22に接続されたZ変調圧電体24と、遅延回路26を介してX変調電源28に接続されたX変調圧電体30とを備える。Z変調圧電体は、Z変調電源から変調周波数fzの交流電圧を印加することによって、片持ち梁の先端を鉛直方向へ単振動させる。X変調圧電体は、X変調電源から遅延回路を介して変調周波数fxの交流電圧を印加することによって、片持ち梁の先端を水平方向へ単振動させる。この場合、2つの変調周波数は、fz:fx=3:2なる関係に規定され且つその位相差は、(n-1)π(n;自然数)なる関係に規定される。
請求項（抜粋）：
先端に尖鋭化した探針を有する片持ち梁と、試料の表面に対して前記探針の先端を相対的に走査させる走査手段と、前記探針の先端が前記試料の表面に対して相対的に所望の2次元軌道を描くように、前記片持ち梁の先端又は試料のいずれか一方を互いに垂直方向に単振動させる振動手段と、前記試料の表面に対して前記探針の先端を相対的に走査させた際に生じる前記片持ち梁の撓み変位及びねじれ変位を光学的に検出する変位センサと、この変位センサによって検出されたねじれ変位に基づいて、前記探針の先端と前記試料の表面との間の摩擦力を測定する摩擦力測定手段とを備えていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
G01N 37/00 B
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/28 Z
