特許
J-GLOBAL ID：200903001667863319
X線回折装置用超電導磁石装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-204983
公開番号（公開出願番号）：特開平7-058365
出願日： 1993年08月19日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 多用途の使用を可能にしたX線回折装置用超電導磁石装置を提供すること。【構成】 真空容器3内に配置した超電導コイル5は、上部コイル5-1と下部コイル5-2とから成るスプリット型である。この超電導コイルの中心部には前記真空容器の上端から該超電導コイルの中心部に至るように設けられた内筒4-1により前記真空容器外部と連通可能にして試料の載置及び出し入れを可能にする。しかも、前記上部コイルと前記下部コイルとの間には、前記中心部から第1の角度をなして前記真空容器の側壁に向けて広がるようにX線入射通路を形成して前記内筒内に置かれた試料に前記真空容器外部からX線を入射可能にする。更に、前記X線入射通路とは異なる領域に前記中心部から第2の角度をなして前記真空容器の側壁に向けて広がるようにX線回折通路を形成して前記試料からの回折X線を前記真空容器外部に取り出し可能にした。
請求項（抜粋）：
真空容器内に配置した超電導コイルとこれを冷却可能とした冷凍機とを有する超電導磁石装置において、前記超電導コイルは、上部コイルと下部コイルとから成り、その中心部には前記真空容器の上端から該超電導コイルの中心部に至るように設けられた内筒により前記真空容器外部と連通可能にして試料の載置及び出し入れを可能にし、しかも前記上部コイルと前記下部コイルとの間には、前記中心部から第1の角度をなして前記真空容器の側壁に向けて広がるようにX線入射通路を形成して前記内筒内に置かれた試料に前記真空容器外部からX線を入射可能にすると共に、前記X線入射通路とは異なる領域に前記中心部から第2の角度をなして前記真空容器の側壁に向けて広がるようにX線回折通路を形成して前記内筒に置かれた試料からの回折X線を前記真空容器外部に取り出し可能にしたことを特徴とするX線回折装置用超電導磁石装置。
IPC (2件)：
H01L 39/00 ZAA
, G01N 23/20
