クリーンルームシステム

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：荒井潤 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-067327
公開番号（公開出願番号）：特開平8-261531
出願日： 1995年03月27日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】フアンモータ効率を改善、スペースの有効利用によるフイルタの保守を容易にし、室内温度分布を均一化し管理の容易なクリーンルームシステムの提供。【構成】清浄度の高い第1エリア3とそれ以外の第2エリア4からなり、エリア3の天井に個別に交換可能な複数フイルタユニツト6を配設し、ユニツト6の上側に陽圧チヤンバー16を形成し、エリア4の天井側に空調気をチヤンバー16内に供給するためのフアンユニツト5を所定のフイルターユニツト毎に設け、エリア3,4の床14は空気の流通可能とし、この床下に相互に連通する床下チヤンバ15を形成し、エリア3と4の境界部の床下チヤンバ内に冷水コイル13を設け、エリア3のフイルタユニツトを通過した清浄気はダウンフローを形成し床下チヤンバに流入し冷水コイルを通りエリア4側に流入しその床を通りアツプフローを形成し、フアンユニツト5に吸引される空気流を形成するよう構成した。

請求項（抜粋）：

清浄度の高い第1エリアとそれ以外の第2エリアをパーティションにて区画し、第1エリアの天井側に個別に交換可能な複数のフィルターユニットを配設し、これらのフィルターユニットの上側に陽圧チャンバーを形成し、第2エリアの天井側に、空調された空気を上記陽圧チャンバー内に供給するためのファンユニットを所定数のフィルターユニットごとに設置し、上記第1および第2エリアの床は空気が流通可能とし、この床下に相互に連通する床下チャンバーを形成し、上記第1および第2エリアの境界部の床下チャンバー内に冷水コイルを設け、上記第1エリアのフィルターユニットを通過した清浄空気は、ダウンフローを形成して床下チャンバー内に流入し、ここで上記冷水コイルを通過して第2エリア側に流入しその床を通過してアップフローを形成して上記ファンユニットに吸引される空気流を形成するように構成したことを特徴とするクリーンルームシステム。

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平2-178547
フィルタユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-003096 出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (2件)

特開平2-178547
フィルタユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-003096 出願人：株式会社日立製作所

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