特許

J-GLOBAL ID：200903001676141709

ネガ型感光性ポリイミド組成物及び絶縁膜

発明者： 中野 常朝 ,  板谷 博 ,  松本 俊一
出願人/特許権者： 株式会社ピーアイ技術研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-353761
公開番号（公開出願番号）：特開2000-147768
出願日： 1998年11月07日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【目的】 ネガ型感光性ポリイミド組成物の提供。【構成】 ポリイミド主鎖中に、2成分以上の芳香族ジアミンを含み、その一つが感光性を有する芳香族ジアミンであり、さらに一つが親水性基を有する芳香族ジアミンである溶剤可溶のネガ型感光性ポリイミド組成物であり、上記感光性を有する芳香族ジアミンとして、その感光性基をアクリル酸エステルないしはメタクリル酸エステルとして側鎖に有するネガ型感光性ポリイミド組成物及び画像の形成法。

請求項（抜粋）：

ポリイミド主鎖中に、2成分以上の芳香族ジアミンを含み、その一つが感光性を有する芳香族ジアミンであり、さらに一つが親水性基を有する芳香族ジアミンである溶剤可溶のネガ型感光性ポリイミド組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/038 504 ,  C08G 73/12 ,  C08L 79/08 ,  C09D 5/00 ,  C09D179/08 ,  G03F 7/027 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06

FI (8件)：

G03F 7/038 504 ,  C08G 73/12 ,  C08L 79/08 Z ,  C09D 5/00 C ,  C09D179/08 Z ,  G03F 7/027 ,  H05K 3/06 H ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (130件)：

2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AA20 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC31 ,  2H025BC34 ,  2H025BC43 ,  2H025BC69 ,  2H025BC81 ,  2H025BC85 ,  2H025BC86 ,  2H025BC92 ,  2H025CA00 ,  2H025EA03 ,  2H025FA17 ,  4J002CM041 ,  4J002EE036 ,  4J002EE046 ,  4J002EE056 ,  4J002EH077 ,  4J002EN097 ,  4J002EP027 ,  4J002EU187 ,  4J002EU236 ,  4J002FD206 ,  4J002GD00 ,  4J002GP00 ,  4J038DJ021 ,  4J038GA01 ,  4J038NA11 ,  4J038NA12 ,  4J038NA14 ,  4J038NA18 ,  4J038PA17 ,  4J043PA08 ,  4J043PA09 ,  4J043PC016 ,  4J043PC086 ,  4J043PC116 ,  4J043PC136 ,  4J043QB15 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043RA35 ,  4J043SA03 ,  4J043SA06 ,  4J043SA42 ,  4J043SA43 ,  4J043SA52 ,  4J043SA62 ,  4J043SA71 ,  4J043SA72 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043SB03 ,  4J043TA22 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043TB03 ,  4J043UA062 ,  4J043UA082 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA151 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UA362 ,  4J043UA412 ,  4J043UA662 ,  4J043UA672 ,  4J043UB011 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB131 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB281 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB311 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA011 ,  4J043VA012 ,  4J043VA022 ,  4J043VA031 ,  4J043VA041 ,  4J043VA051 ,  4J043VA062 ,  4J043VA071 ,  4J043VA081 ,  4J043VA091 ,  4J043VA092 ,  4J043XA03 ,  4J043XA14 ,  4J043XA16 ,  4J043XA19 ,  4J043XB02 ,  4J043XB17 ,  4J043XB19 ,  4J043XB20 ,  4J043XB35 ,  4J043YA06 ,  4J043YB06 ,  4J043YB19 ,  4J043YB21 ,  4J043ZA21 ,  4J043ZB22 ,  5E339BE11 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CC10 ,  5E339CD01 ,  5E339CE14 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339DD02 ,  5E339DD04 ,  5E339GG01