特許

J-GLOBAL ID：200903001676167821

光学測定装置

発明者： 井関 敏之
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-026051
公開番号（公開出願番号）：特開平5-196418
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】【目的】 測定対象物体面が傾き、対物レンズから照射する光の反射が入射経路を辿らなくなる不具合を解消する為の傾き補正手段の構成を単純化し、極力可動部の部品点数を削減して制御し易く構成し、更には機械的可動部を皆無にする。【構成】 二つの光の一方を象物表面に反射させ他方との干渉信号から対象物の形状等を測定する装置であって、被測定対象物体面の傾きによって生じる反射光の位置ずれを検出すると共にそのずれを示す誤差信号を発生する光検出手段と、誤差信号に基づいて光発生手段と被測定対象物との間の光路長を一定に保ちつつ被測定対象物体面に垂直に集光する傾き補正手段を備えたものにおいて、傾き補正手段が放射光の光束より大きな開口を有する複数のレンズで構成されたアフォ-カル光学系と、該アフォ-カル光学系を光軸と垂直方向に移動する駆動手段とを備える。

請求項（抜粋）：

波長の異なる二つの光を発生する光発生手段と、この光発生手段から放射した一方の略平行な光を被測定対象物表面上に集光する対物レンズと、前記被測定対象物体面からの反射光と前記他方の波長の光との位相差又は周波数差の変化に基づいて被測定対象物までの距離測長又は被測定対象物表面形状測定等を行う光学測定装置であって、前記被測定対象物体面の傾きによって生じる前記反射光の位置ずれを検出すると共にそのずれを示す誤差信号を発生する光検出手段と、前記誤差信号に基づいて前記光発生手段と被測定対象物との間の光路長を一定に保ちつつ被測定対象物体面に垂直に集光する傾き補正手段を備えたものにおいて、前記傾き補正手段が放射光の光束より大きな開口を有する複数のレンズで構成されたアフォ-カル光学系と、該アフォ-カル光学系を光軸と垂直方向に移動する駆動手段とを備えたことを特徴とする光学測定装置。