特許
J-GLOBAL ID：200903001680800695
焦点位置検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-067345
公開番号（公開出願番号）：特開平5-275313
出願日： 1992年03月25日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：
【要約】【目的】 正確な高さ検出を実現するとともに任意の高さに焦点を合わせる。【構成】 複数点を検出可能な受光センサー(15)を設ける。受光センサー15の受光アレイを段差形状に応じて任意に選択し、グループ(Ga、Gb、Gc、Gd、Ge)分けする。各グループからの計測値に各グループ毎に定められた所定の重み係数(W1〜W5)を掛けて平均化し、目標焦点位置(BZ)を求める。目標焦点位置(BZ)がベストフォーカス位置(Fo)となるようにZステージ20を制御する。
請求項（抜粋）：
被検査面に対して斜め方向から前記被検査面上で所定形状を持つパターン光を投射する投射光学系と前記被検査面で反射された前記パターン光の像を結像する結像光学系と前記被検査面と光学的にほぼ共役な位置に設けられ、所定形状の開口部を有する受光側遮光手段と前記結像光学系により結像されるパターン像と前記開口部とを相対的に移動させる移動手段と前記遮光手段を通過した前記パターン光を受光し、前記開口部と前記パターン光像との位置関係に応じた信号を出力する受光手段とを有し、前記受光手段からの信号に基づいて前記被検査面の高さ位置を検出する焦点位置検出装置において、前記被検査面の計測すべき位置情報を入力する入力手段と;前記入力手段からの情報に基づいて、前記パターン像を複数の部分に分割し、前記パターン像の少なくとも2つの部分を選択的に検出する選択手段と;前記選択手段により選択された前記パターン像の夫々について、前記被検査面の高さ位置に対応する第1検出信号を出力する第1高さ位置検出手段と;前記第1検出信号の夫々に重み係数を掛ける加重手段と;前記加重後の信号の和を重み係数の和で平均化して前記被検査面の高さに対応する第2検出信号を出力する第2高さ位置検出手段とを有することを特徴とする焦点位置検出装置。
IPC (2件)：
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