特許
J-GLOBAL ID：200903001683613519
撮像素子と固体撮像装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-000643
公開番号（公開出願番号）：特開平8-186241
出願日： 1995年01月06日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】 スクライブ領域と光電変換部の平坦化を一括で行ないフィルタの膜厚ムラをなくし、経済的にすること。【構成】 半導体基板上に光電変換部とその周辺部を複数個配列されるカラー固体撮像チップに分離されるカラー固体撮像装置において、カラー固体撮像チップに分離するスクライブ領域の一部が、光電変換部と同様な層を有する膜構成であることを特徴とする。また、光電変換部を複数個、直線上に配列してなるカラー固体撮像チップを、半導体基板上に複数個配列することによって構成されるチップ配列型カラー固体撮像装置についても適用される。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に複数個配列された光電変換部とその周辺回路部からなるカラー固体撮像チップに分離されるカラー固体撮像装置において、前記カラー固体撮像チップに分離するスクライブ領域の一部が、前記光電変換部と同様な層を有する膜構成であることを特徴とする固体撮像装置
IPC (4件)：
H01L 27/14
, G02B 5/20 101
, H01L 21/301
, H01L 33/00
H01L 27/14 D
, H01L 21/78 L
